La elipsometría es una técnica óptica no destructiva que mide los cambios en el estado de polarización de la luz tras la reflexión o transmisión desde la superficie de un material o una película delgada, lo que permite determinar el espesor de la película, el índice de refracción y el coeficiente de extinción con una sensibilidad subnanométrica.

El método se basa en los principios de interacción de la luz polarizada con la materia, donde la luz polarizada linealmente con incidencia oblicua se refleja con amplitud alterada (caracterizada por la relación Ψ\PsiΨ) y fase (Δ\DeltaΔ) entre los componentes paralelos (p) y perpendiculares (s), cuantificados por la relación compleja ρ=tan⁡ΨeiΔ\rho = \tan \Psi e^{i\Delta}ρ=tanΨeiΔ.[1][2] Estos parámetros se derivan de configuraciones experimentales como analizadores giratorios o elipsómetros polarizadores, que utilizan compensadores y detectores para resolver estados de polarización, a menudo representados en la esfera de Poincaré para su análisis. La técnica resuelve un problema inverso modelando la estructura de la muestra y ajustando Ψ\PsiΨ y Δ\DeltaΔ medidos a los coeficientes teóricos de reflexión de Fresnel, generalmente mediante regresión o métodos avanzados como el aprendizaje automático para manejar ambigüedades en sistemas multicapa.[2]